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Floro Mechanic真空镊子
产品简介:

Floro Mechanic真空镊子采用含有碳纤维的尼龙树脂(集换式卡牌),具有优异的物理性能和导电性。 此外,内部阀门段使用氟化素,并通过特殊成型工艺包覆碳纤维,保持气密性。 因此,它可以通过传统F系列的气门平稳运行。
吸附芯片采用PEEK树脂材料,具有优秀的耐化学性、耐热性和韧性。加工后,经过热处理和镜面处理,以保持长时间稳定的性能。 此外,添加碳纳米管,可以在低填充物含量下管理高级导电性。

产品型号:C导电型

更新时间:2026-07-20

厂商性质:代理商

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产品介绍

Floro Mechanic真空镊子(气动镊子成都藤田供应

1. 品牌溯源与技术定位
Floro Mechanic(日本氟洛力克)是一家专注于精密流体控制与半导体自动化工具的资深制造商,其真空镊子系列在全球晶圆处理领域享有盛誉。该工具的核心设计理念是以“气"代“力",利用压缩空气或真空源产生稳定的吸附力,实现对超薄、易碎或微小元器件的非接触式抓取。与传统机械夹爪相比,它从根本上消除了表面划伤、压痕和颗粒污染的风险,是半导体前道工艺和后道封装的辅助工具。

2. 核心工作原理与性能亮点
产品内部集成了精密的气动阀门与真空发生器结构。当外部气源接通时,内部流道产生文丘里效应,在吸头前端形成持续负压。操作者可通过轻触杆阀或按钮开关,瞬间切换吸附与释放状态。得益于高精度的密封设计,其泄漏率极低,即使面对高速搬运场景,吸附力依然稳定可靠。此外,全系列采用防静电设计,有效避免因摩擦或气流产生的静电击穿芯片,极大提升了良品率。

3. 两大主力系列横向对比
为适应不同工艺环境,Floro Mechanic提供了C系列和F系列两条产品线:

  • C系列(导电复合材料型):镊子本体采用尼龙树脂基体+碳纤维/碳纳米管填充,表面电阻率可控在低阻值范围,具有优异的静电泄放(ESD)性能。其内部阀芯采用含氟聚合物并经过特殊涂覆,既保证了低摩擦寿命,又具备了气体密封性。该系列可选型号丰富(如001、002、003、007),主要区别在于阀门的行程触发方式(指尖按压或侧面滚轮),适合洁净室内的常规晶圆和光掩模版操作。

  • F系列(全氟耐化型):主体材质升级为4F-PTFE(聚四氟乙烯)和3F-PCTFE(聚三氟氯乙烯) ,通过精密车铣复合加工而成。该系列几乎耐所有强酸、强碱及有机溶剂,气密性长期不衰减。专门应用于湿法刻蚀、化学机械抛光(CMP)后清洗等腐蚀性氛围中的工件取放。

4. 吸头配件与扩展兼容性
吸头是直接接触工件的关键部件,统一采用PEEK(聚醚醚酮) 树脂。PEEK具有耐高温、耐水解、尺寸稳定性好的特点,经镜面抛光后可避免刮擦晶圆背面。用户可根据晶圆尺寸(2英寸至12英寸)或异形元件,快速更换平头、阶梯头、波纹头等不同吸头,同时也可选配延长喷嘴用于深腔作业。

5. 配套真空源与维护建议
推荐搭配FV系列无油隔膜式真空泵(如FV-10、FV-30),该泵提供纯净负压,避免油雾污染。日常维护只需定期清洁吸头过滤器和检查密封圈,无需润滑。凭借其精密、安全、耐腐蚀的综合性能,Floro Mechanic真空镊子已成为半导体、OLED面板、生物医疗及精密光学装配领域标准化处理的工具。

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