日本福乐 FV30 干式洁净微型真空泵

日本 FLUORO 福乐 FV-30 为**两级式无油隔膜干式真空泵**，FV 系列通用主力款，专为半导体无尘操作台、实验室精密拾取场景开发。采用电磁直驱双隔膜结构，泵腔无润滑油，杜绝油雾污染工件，满足百级、千级洁净车间使用标准。

泵体外壳采用防静电尼龙材质，可搭配导电管路、导电吸嘴，构建完整 ESD 防静电体系，保护晶圆、光学薄片、芯片等静电敏感器件；进出气配备双路 HEPA 高效过滤器，0.3μm 粒子过滤效率 99.97%，配置透明滤芯观察视窗，无需拆机直观查看滤芯脏污状态，维护便捷。隔膜表面 PTFE 特氟龙涂层，耐乙醇、丙酮等溶剂蒸汽。整机功耗仅 5W，轻量化 800g，机身紧凑，支持 7×24h 连续运行，设计耐久寿命≥9000 小时，运行噪音低。极限负压 - 50kPa，抽气流量 2.5L/min，负压输出平稳，适合 6 英寸以内硅片、光学镜片、PCB 薄片拾取。无需空压机，通电即可使用，既可桌面摆放，也可内嵌自动化设备、手套箱。原厂标配 Φ3×5 软管 1 米 + L 型接头。标准规格 AC100V，可选 220V 定制版本。广泛用于半导体晶圆转运、光电元器件组装、实验室样品拾取。原厂进口，可提供规格书，适配设备集成商、无尘实验室采购选型。

核心参数表

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✅FV 系列选型对比

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日本福乐 FV30 干式洁净微型真空泵