日本福乐FLUORO 4 寸特氟龙真空吸笔

✅ 参数

品牌：FLUORO 福乐

适配：4 英寸晶圆

材质：笔身 PTFE 特氟龙，吸头 PEEK

全长：240mm｜重量：22g

阀型：NC 常关阀，X 万向旋转接头

特点：耐药液、耐强腐蚀，化学制程专用

湿法腐蚀制程专属｜福乐 F001-X-06-PK 特氟龙真空吸笔💧做湿法清洗、腐蚀、药液浸泡工艺的同行都懂，普通尼龙吸笔碰到强酸碱很容易溶胀、析出污染晶圆，F 系列特氟龙款就是福乐专为化学制程设计的真空吸笔。笔身采用 PTFE 特氟龙材质，耐绝大多数强酸、强碱、有机溶剂，耐化学性远优于 C 系列尼龙款，吸头为 PEEK 材质，镜面抛光、低发尘。NC 常关阀设计，按压产生负压吸附，松开断气释放，操作简单可控；X 万向旋转接头，吸头多角度自由偏转，湿法槽、清洗机腔体狭小位置对位很灵活。适配 4 寸晶圆，全长 240mm，重量仅 22g，手持轻巧，长时间测试对位不累手。模块化结构，吸头可以单独更换，不用整支更换，降低耗材成本。需要配套真空源使用，适合湿法台、清洗工位、化学腐蚀后的晶圆拾取，很多微纳加工实验室、湿法工艺产线优先选 F 系列。⚠️对比 C 系列：C 系列导电尼龙主打防静电；F 系列特氟龙主打耐药液，本身不防静电，静电敏感样品要搭配防静电工装或者选 C 系列。原装福乐密封性优秀，负压稳定，不容易掉片，内壁抛光控颗粒，湿法工艺想要减少异物污染，这款是优选。

日本福乐FLUORO 4 寸特氟龙真空吸笔