爱发科ULVAC高抽气速率增压泵 配套旋片泵

特长

洁净的真空

腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。

能在高吸入压强下运作

选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运作。

爱发科 NB100B‑NB1200B 系列罗茨真空泵属于干式增压罗茨泵，不能单独使用，需要搭配旋片泵等前级真空泵组成真空机组，大幅提升系统抽速，实现中高真空环境，广泛用于真空镀膜、热处理、材料烧结、锂电、化工蒸馏、大型腔体脱泡等工业场景。

泵体采用罗茨转子无接触结构，内部无润滑油，转子互不接触，磨损小，可长时间连续运转。依靠前级泵建立预真空后启动增压，有效缩短腔体抽气时间，提升生产效率。该系列覆盖 NB100B、NB200B、NB600B、NB1200B 多款规格，抽速区间广，适配不同腔体容积工艺选型。

设备自带压差保护，防止前级压力过高造成泵体过载损坏，保障设备运行安全。泵体振动低，整机结构紧凑，便于机组集成组装。可与 PVD‑N 系列、GLD 系列旋片泵搭配成套真空机组；同时可配套 OSY 油雾过滤器、NWS 油水分离器、NOC 油净化装置，处理水汽、溶剂蒸汽，适配复杂工艺工况。

整机拆装维护便捷，转子无需定期校准，零部件耐用性强。作为真空机组核心增压单元，显著提升系统抽气能力，降低工艺处理时间，满足 24 小时不间断工业生产。是大型工业真空系统中主流可靠的罗茨增压泵选型，适配科研实验室以及各类量产产线真空成套设备。

爱发科ULVAC高抽气速率增压泵 配套旋片泵