日本Otsuka大塚MINUK光波动场三次元显微镜-成都藤田科技提供
MINUK可评价nｍ级的透明的异物・缺陷，一次拍照即可瞬时获得深度方向的信息，可非破坏・非接触・非侵入的进行测量。且无需对焦，可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置。

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Smart膜厚仪 vs OPTM显微分光膜厚仪——革新光学测量的双引擎

核心对比与OPTM优势：

1. 技术差异化：

• OPTM系列：基于分光干涉法，结合显微光学系统，实现反射率分析，支持超薄膜（1nm）与复杂多层结构，技术解决透明基板干扰。

• Smart膜厚仪：侧重便携性与快速筛查，适用于常规单层膜厚测量，但精度与功能扩展性不及OPTM系列。

2. 应用场景：

• OPTM适用于研发（R&D）与高精度QC，如半导体晶圆、光学滤光片；Smart膜厚仪更适合产线快速抽检。

3. 性价比优势：OPTM以中型设备成本提供媲美椭偏仪的精度，且操作门槛更低，软件内置NIST校准追溯，确保数据可靠性。

产品信息

特点

可评价nｍ级的透明的异物・缺陷 一次拍照即可瞬时获得深度方向的信息 无需对焦，可高速测量 可非破坏・非接触・非侵入的测量 可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置

规格

测量案例

将肉眼无法看见的透明薄膜表面可视化・定量化

可以非接触、非破坏性、非侵入性地获得nm级的形状信息。通过一次拍照即可获取深度方向的信息，可以将透明薄膜表面上肉眼不可见的划痕和缺陷的横截面形状数值化实现可视化。

观察透明薄膜内部的填充剂

肉眼无法看到的透明薄膜内部的填充剂，通过一次拍照即可观察到。此外，通过在测量后改变深度方向的焦点，可以识别到各个深度的填充剂。

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