日本Otsuka大塚Smart膜厚仪光学分析专家-成都藤田科技提供
侧重便携性与快速筛查，适用于常规单层膜厚测量，但精度与功能扩展性不及OPTM系列。
OPTM适用于研发（R&D）与高精度QC，如半导体晶圆、光学滤光片；Smart膜厚仪更适合产线快速抽检

日本Otsuka大塚Smart膜厚仪光学分析专家-成都藤田科技提供

Smart膜厚仪 vs OPTM显微分光膜厚仪——革新光学测量的双引擎

核心对比与OPTM优势：

1. 技术差异化：

• OPTM系列：基于分光干涉法，结合显微光学系统，实现反射率分析，支持超薄膜（1nm）与复杂多层结构，技术解决透明基板干扰。

• Smart膜厚仪：侧重便携性与快速筛查，适用于常规单层膜厚测量，但精度与功能扩展性不及OPTM系列。

2. 应用场景：

• OPTM适用于研发（R&D）与高精度QC，如半导体晶圆、光学滤光片；Smart膜厚仪更适合产线快速抽检。

3. 性价比优势：OPTM以中型设备成本提供媲美椭偏仪的精度，且操作门槛更低，软件内置NIST校准追溯，确保数据可靠性。

产品信息

特点

● 可携带至现场的手持式

● 可测量0.1μm单位

● 具有形状的样品也可非破坏的测量

● 不论基材材质、可测量其镀膜

测量项目

Smart手持式膜厚仪与其他膜厚仪的比较

与桌上型光学膜厚仪相比，Smart膜厚仪在“现场"以非破坏式直接量测样品，且可以量测特殊形状样品。

与接触式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不仅不会破坏您的样品，也不会因为用户不同而产生误差且远高于接触式膜厚计的量测精度。

与涡电流/电磁式膜厚仪相比，Smart膜厚仪不需要制作检量线，且可以量测非金属基材并且得到值！

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