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日本Otsuka大塚LC Fseries彩色光刻胶测量
产品简介:

日本Otsuka大塚LC Fseries彩色光刻胶测量-成都藤田科技提供
产品信息 特点 以透过光谱测量、色测量为代表,通过浓度测量、膜厚测量、反射光谱测量等,可对应彩色滤光片制造工程中的所有检查的装置 可用于彩色滤光片的光学特性或玻璃基板...

产品型号:

更新时间:2025-02-21

厂商性质:代理商

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产品介绍

日本Otsuka大塚LC Fseries彩色光刻胶测量-成都藤田科技提供

日本Otsuka大塚LC Fseries彩色光刻胶测量


产品信息

特点

以透过光谱测量、色测量为代表,通过浓度测量、膜厚测量、反射光谱测量等,可对应彩色滤光片制造工程中的所有检查的装置

可用于彩色滤光片的光学特性或玻璃基板上膜的薄膜解析等各类评价

通过自动对焦功能和自动绘素位置相结合,测量精度高,登陆recipe实现全自动检查


测量项目

彩色滤光片评价

色测量(透过光谱测量)

色度(XYZ,xy,Lab,L*a*b*,u'v',u*v*)

色差,白平衡

反射率测量 *

光学浓度(OD)测量 *

画素幅测量 *

AF(自动对焦),结合自动绘素 *

膜厚评价

膜厚测量

膜物性解析(n:折射率,k:消减系数)

*选配功能

测量对象

R, G, B, ITO, PI, PR, OC, BM


产品规格


型号

LCF series

样品尺寸

50mm x 50mm ~*

检出器

分光光度计 ( MCPD检出器 ),PMT (option)

图像处理

CCD相机及monitor
自动对焦、结合自动绘画素机构

Stage及测量部支架

X-Y-Zstage自动及手动(电动方式)

* 也可用于大型玻璃基板(3000mm x 3000mm以上)


测量例

彩色滤光片R、G、B测量

日本Otsuka大塚LC Fseries彩色光刻胶测量


核心特点


  1. 微区测量能力:最小光斑直径3μm,搭配自动XY平台(200×200mm),实现晶圆、FPD(如OLED、ITO膜)等微小区域的精准厚度分布映射。


  2. 跨行业适用性:专为半导体(SiO₂/SiN膜)、显示面板(彩色光阻)、DLC涂层等行业设计,支持粗糙表面、倾斜结构及复杂光学异向性样品的分析。


  3. 安全与扩展性:区域传感器触发防误触机制,独立测量头支持定制化嵌入,满足在线检测(inline)与实验室研发需求。

日本Otsuka大塚LC Fseries彩色光刻胶测量-成都藤田科技提供





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