日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式检测仪-成都藤田科技提供
产品信息 特 长 薄膜到厚膜的测量范围、UV~NIR光谱分析 高性能的低价光学薄膜量测仪 藉由反射率光谱分析膜厚 完整继承FE-3000机种90%的强大功能 无复杂设定，操作简单，短時...

产品信息

特　点

● 采用分光干涉法

● 搭载高精度FFT膜厚解析系统（第4834847号）

● 使用光学光纤，可灵活构筑测量系统

● 可嵌入至各种制造设备。

● 实时测量膜厚

● 可对应远程操作、多点测量

● 采用寿命长、安全性高的白色LED光源

测量项目

多层膜厚解析

用　途

光学薄膜（超硬涂层、AR薄膜、ITO等）

FPD相关（光刻胶、SOI、SiO2等）

设备构成

单点型

半导体晶圆的面内分布测量

玻璃基板的面内分布测量

多点型

实时测量

流向品质管理

真空室适用

导线型

实时测量

宽度方向品质管理

测量案例

超硬涂层的膜厚解析

设备构成

单点型

半导体晶圆的面内分布测量

玻璃基板的面内分布测量

多点型

实时测量

流向品质管理

真空室适用

导线型

实时测量

宽度方向品质管理

测量案例

超硬涂层的膜厚解析

核心特点：

1. 微区测量能力：最小光斑直径3μm，搭配自动XY平台（200×200mm），实现晶圆、FPD（如OLED、ITO膜）等微小区域的精准厚度分布映射。

2. 跨行业适用性：专为半导体（SiO₂/SiN膜）、显示面板（彩色光阻）、DLC涂层等行业设计，支持粗糙表面、倾斜结构及复杂光学异向性样品的分析。

3. 安全与扩展性：区域传感器触发防误触机制，独立测量头支持定制化嵌入，满足在线检测（inline）与实验室研发需求。

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式检测仪-成都藤田科技提供