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日本大塚Otsuka
日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪
产品型号:
更新时间:2025-03-20
厂商性质:代理商
访问量:174
19938139269(马经理)
产品分类
日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪-成都藤田科技提供
产品信息
特点
● 采用线扫描方式检测整面薄膜
● 硬件&软件均为创新设计
● 作为专业膜厚测定厂商,提供多种支援
● 实现高精度测量(已获取)
● 实现高速测量
● 不受偏差影响
● 可对应宽幅样品(TD方向大可测量10m)
式样
在线型 | 离线型 | |
膜厚范围 | 0.7~300μm*1 | |
测量宽度 | TD:500mm~大10m x MD1mm | TD:250mmxMD1mm |
测量间隔 | 10ms ~ | |
设备尺寸 | 81(W)x140(D)x343(H)mm | 459(H)x609(D)x927(H)mm |
重量 | 4kg(仅测量头) | 60kg |
大功耗 | AC100V 10% 125VA |
※膜厚值n=1.5的换算。由式样而定
测量案例
500mm宽的包装薄膜
核心特点:
微区测量能力:最小光斑直径3μm,搭配自动XY平台(200×200mm),实现晶圆、FPD(如OLED、ITO膜)等微小区域的精准厚度分布映射。
跨行业适用性:专为半导体(SiO₂/SiN膜)、显示面板(彩色光阻)、DLC涂层等行业设计,支持粗糙表面、倾斜结构及复杂光学异向性样品的分析。
安全与扩展性:区域传感器触发防误触机制,独立测量头支持定制化嵌入,满足在线检测(inline)与实验室研发需求。
日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪-成都藤田科技提供
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