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日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪
产品简介:

日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪-成都藤田科技提供
采用线扫描方式检测整面薄膜 硬件软件均为创新设计 作为专业膜厚测定厂商,提供多种支援 实现高精度测量实现高速测量 不受偏差影响 可对应宽幅样...

产品型号:

更新时间:2025-03-20

厂商性质:代理商

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产品介绍

日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪-成都藤田科技提供

 

日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪

产品信息

特点

● 采用线扫描方式检测整面薄膜

● 硬件&软件均为创新设计

● 作为专业膜厚测定厂商,提供多种支援

● 实现高精度测量(已获取)

● 实现高速测量

● 不受偏差影响

● 可对应宽幅样品(TD方向大可测量10m)         

   

日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪

日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪 

式样

  在线型 离线型
膜厚范围 0.7~300μm*1
测量宽度 TD:500mm~大10m x MD1mm TD:250mmxMD1mm
测量间隔 10ms ~
设备尺寸 81(W)x140(D)x343(H)mm 459(H)x609(D)x927(H)mm
重量 4kg(仅测量头) 60kg
大功耗 AC100V 10% 125VA

※膜厚值n=1.5的换算。由式样而定

测量案例

500mm宽的包装薄膜

   
日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪

日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪  

    核心特点:

    微区测量能力:最小光斑直径3μm,搭配自动XY平台(200×200mm),实现晶圆、FPD(如OLED、ITO膜)等微小区域的精准厚度分布映射。

    跨行业适用性:专为半导体(SiO₂/SiN膜)、显示面板(彩色光阻)、DLC涂层等行业设计,支持粗糙表面、倾斜结构及复杂光学异向性样品的分析。

    安全与扩展性:区域传感器触发防误触机制,独立测量头支持定制化嵌入,满足在线检测(inline)与实验室研发需求。

    日本Otsuka大塚在线扫描膜厚仪膜厚测定仪-成都藤田科技提供


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