日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚仪成都藤田科技提供
用显微微分光膜厚计OPTM series的高精度、微小光点，在线提供制作晶片图案后的微小区域测量等膜厚信息。...

产品信息

特　点

● 膜厚测量范围1nm～92μm（换算为SiO2）

● 膜厚值高重复精度

● 1点1秒以内的高速测量

● 最小小点Φ3μm）中瞄准模式

● 适合图案晶片的膜厚映射

● 能够取得图案对准用图像

装置组装示意图

测量数据示意图

测量光点周边图像

适应过程示例

CMP工艺

蚀刻工艺

成膜工艺等

产品规格

核心对比与OPTM优势：

1. 技术差异化：

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• OPTM系列：基于分光干涉法，结合显微光学系统，实现反射率分析，支持超薄膜（1nm）与复杂多层结构，技术解决透明基板干扰。

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• Smart膜厚仪：侧重便携性与快速筛查，适用于常规单层膜厚测量，但精度与功能扩展性不及OPTM系列。

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3. 应用场景：

• OPTM适用于研发（R&D）与高精度QC，如半导体晶圆、光学滤光片；Smart膜厚仪更适合产线快速抽检。

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5. 性价比优势：OPTM以中型设备成本提供媲美椭偏仪的精度，且操作门槛更低，软件内置NIST校准追溯，确保数据可靠性。

1. 微区测量能力：最小光斑直径3μm，搭配自动XY平台（200×200mm），实现晶圆、FPD（如OLED、ITO膜）等

   
   

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3. 微小区域的精准厚度分布映射。

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5. 跨行业适用性：专为半导体（SiO₂/SiN膜）、显示面板（彩色光阻）、DLC涂层等行业设计，支持粗糙表面、倾斜结构及复杂光学异向性样品的分析。

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7. 安全与扩展性：区域传感器触发防误触机制，独立测量头支持定制化嵌入，满足在线检测（inline）与实验室研发需求。

日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚仪成都藤田科技提供