日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚测量系统-成都藤田科技提供
产品信息 特殊长度 可以高速、高精度地测量各种玻璃基板上各种薄膜的膜厚和光学常数。 除了支持包括下一代尺寸在内的大型玻璃基板外，它还支持 LCD、TFT 和有机 EL。 用法 LCD ITO...

日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚测量系统-成都藤田科技提供

产品信息

特殊长度

可以高速、高精度地测量各种玻璃基板上各种薄膜的膜厚和光学常数。除了支持包括下一代尺寸在内的大型玻璃基板外，它还支持 LCD、TFT 和有机 EL。

用法

LCD
ITO / Glass, PI / OC / Glass, CF / Glass, Resist / Glass

TFT
SiN / a-Si / 玻璃

有机EL
有机EL / ITO / 玻璃

PDP
介电层/玻璃

核心特点：

1. 
   

2. 超大基板全覆盖：专为下一代尺寸玻璃基板设计（支持超长/超宽规格），可高效测量LCD、TFT、有机EL等大型面板，兼容PI、ITO、SiN、介电层等复杂膜层结构。

3. 
   

4. 纳米级精度与秒级速度：采用分光干涉+AI算法技术，单点测量时间＜1秒，膜厚精度±0.1nm，光学常数（n/k）解析＜0.5%，满足量产级质量控制需求。

5. 
   

6. 全场景适配性：从研发实验室到自动化产线，支持在线（inline）集成，可定制XYZ多轴平台，实现基板全域厚度分布映射与缺陷快速筛查。

7. 
   

8. 高速量产优化：每小时可检测超3000点，支持多探头并行测量，大幅提升玻璃基板（如G8/G10）产线效率，降低设备综合成本（CoO）。

9. 
   

10. 超薄与超厚膜通吃：量程覆盖1nm至200μm，适用于OC（光学胶）、Resist（光刻胶）等软膜与硬质涂层的精准厚度控制。

11. 
    

12. 低维护：非接触式测量设计，无探针损耗，长期使用稳定性达99.8%，搭配远程诊断功能，减少停机风险。

日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚测量系统-成都藤田科技提供